測量高Q貼片陶瓷電容器的ESR，需要一個測試系統(tǒng)，它的固有Q值要比受測器件（DUT）還要高。做這種測量時，通常會用到高Q同軸線諧振器。這種諧振器里面，中心導體是由銅管和實心銅棒組成的。受測器件（DUT）要串聯(lián)在這根中心導體和接地線之間。但在測量ESR之前，得先建立諧振線的空載特性。

這個特性是通過給短路的同軸線施加射頻激勵，然后確定1/4和3/4的帶寬來實現(xiàn)的。建立了1/2和1的帶寬測量后，線路得被開路。這樣得到的數(shù)據(jù)可以用來描述這個諧振線的空載Q值、固定電阻以及諧振頻率。通常這個線路的空載值在1300~5000之間（頻率范圍是130MHz~3GHz），固定電阻Rfo大約在5~7mΩ。

電容器樣品要跟固定在低阻抗線路末端的短路棒串聯(lián)放置。調(diào)整發(fā)生器使它達到一個峰值諧振電壓，然后再從諧振兩側(cè)峰值電壓向下重新調(diào)整6dB。在靠近高阻抗線路末端（大約在短路端的1/4波長處）的地方，要固定一個松散耦合的射頻毫伏表探頭。這個探頭用來測量6dB點的射頻電壓。

受測器件（DUT）與空載線路相比，會影響線路的Q值，從而改變共振頻率和帶寬。相應的6dB下降頻率稱為fa和fb，這些數(shù)據(jù)可以用來計算電容器的ESR。這種方法就叫做Q微擾法。